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2019 - 10 - 18
水環(huán)式真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限壓力,對于單級泵為 2.66~9.31kPa;對于雙級泵為 0.133~0.665kPa。水環(huán)泵也可用作壓縮機,它屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍為( 1~2)X105Pa表壓力(在特定的條件下)。水環(huán)泵在石油、化工、機械、礦山、輕工、造紙、動力、冶金、醫(yī)藥和食品等工業(yè)及市政與農(nóng)業(yè)等部門的許多工藝過程中,如真空過濾、真空送料、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空濃縮和真空回潮等,得到了廣泛的應用,由于水環(huán)泵壓縮氣體的過程是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵,含水的氣體,因此,水環(huán)泵的應用日益增大。  水環(huán)泵的工作原理示意圖,水環(huán)泵是由葉輪、泵體、吸排氣盤、水在泵體內(nèi)壁形成的水環(huán)、吸氣口、排氣口、輔助排氣閥等組成的?! ∪~輪被偏心的安裝在泵體中,當葉輪按圖示方向旋轉(zhuǎn)時,進入水環(huán)泵泵體的水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個與泵腔形狀相似的等厚度的封閉的水環(huán)。水環(huán)的上部內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切(如Ⅰ -Ⅰ斷面),水環(huán)的下部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實際上,葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時,葉輪輪轂與水環(huán)之間形成了一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成與葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的上部 0°為起點,那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前 180°時,小腔的容積逐漸由小變大(即從斷面Ⅰ -Ⅰ到Ⅱ -Ⅱ),壓強不...
2019 - 10 - 30
羅茨真空泵的抽速與前級真空泵的抽速之間的關系主要取決于體積效率和羅茨真空泵的壓差。如果容積效率低,則羅茨真空泵裝置的有效抽速會大幅下降。如果羅茨真空泵的壓差超過最大允許壓差,則壓縮功將導致轉(zhuǎn)子過熱并被卡住。因為泵殼很容易到周圍的環(huán)散熱仍然不太熱?! ×_茨真空泵的最大允許壓差在40-100hPa之間。在較高的壓力范圍(150hPa)中,允許的壓差會稍高一些,這是因為抽氣量值得感謝,并且改進了轉(zhuǎn)子。冷卻。隨著壓差的增加,不可避免地會增加所需的功率?! ×_茨真空泵的出口管中安裝了專用的氣體冷卻器,由于冷卻氣體的回流可以將轉(zhuǎn)子的溫度保持在指定范圍內(nèi),因此可以增加最大允許壓差?! ?nèi)。在真空和高真空范圍內(nèi),抽速比多使用10:1。當入口壓力變化較大或前級壓力變小時,壓縮比降低,因此抽速比多選擇?! ?.當羅茨真空泵在較高壓力下啟動時,壓力迅速下降并達到所需壓力。盡管啟動時超過了最大允許壓力差,但短時過載(幾分鐘后)正常的羅茨真空泵電動機不會引起問題。當入口壓力非常低或預真空泵氣鎮(zhèn)閥工作時,通常使用兩級預真空泵,否則很難達到羅茨真空泵所需的預壓力,并且在此壓力下進行前期泵的抽速太低。這將導致壓縮比過高并降低容積效率?! ?.當泵的入口壓力在真空度范圍內(nèi)時,這是允許的最大壓差成為重要因素。當入口壓力為15hPa時,羅茨真空泵與前級真空泵的泵速比為6:1,而當入口壓力為75hPa時為2:1。在羅茨真...
2019 - 11 - 05
水環(huán)真空泵常見故障  第一,水環(huán)真空泵真空度不夠  可能的原因:電機電源不足導致轉(zhuǎn)速不足;供水不足;葉輪和分配板之間的間隙過大;機械密封損壞,導致漏水漏氣;葉輪過度磨損;循環(huán)水不能排放。  排除方法:檢查電源電壓是否在電機額定電壓范圍內(nèi);增加供水(必須控制在正確的范圍內(nèi),否則會導致電機過載和發(fā)熱);調(diào)整葉輪和分配器板之間的間隙(一般為0.15-0.20毫米);更換機械密封;更換葉輪;檢查出水管?! 〉诙?,水環(huán)真空泵不能啟動,或者會發(fā)出很大的噪音  可能的原因:電機電源電壓不足;馬達無相位運轉(zhuǎn)。泵長期不用導致生銹;泵內(nèi)雜物的吸入;葉輪拖動分配器板?! ∨懦椒?檢查電源電壓是否過低;檢查電機接線是否牢固;如果泵長時間不用,可以添加除銹劑或打開泵蓋除銹。打開泵蓋清除雜物;調(diào)整葉輪和分配板之間的距離?! 〉谌h(huán)真空泵電機過熱  可能的原因:過量供水導致電機過載;電機缺相;通風口被堵住了;葉輪拖動其他零件?! ∨懦椒?將供水減少至正常范圍(參見泵操作說明中的供液量);檢查接線是否牢固;檢查排氣口;打開泵蓋,調(diào)整葉輪和其他部件之間的間隙。  第四,水環(huán)真空泵流量不足  可能的原因:管道泄漏;阻力損失增加?! ∨懦椒?檢查接頭處的機械密封;檢查管道和止回閥有無故障?! ∷h(huán)真空泵的日常維護  (1)正常工作時,應注意檢查軸承的工作和潤滑情況。建議其溫度(軸承和外圈)一般比環(huán)境溫度高15...
2019 - 11 - 07
水環(huán)真空泵是液體環(huán)真空泵是最常見的一種。液環(huán)真空泵是安裝在泵殼體中的多葉片轉(zhuǎn)子具有偏心。當它旋轉(zhuǎn)時,液體拋出和泵殼體與所述泵殼的液體環(huán)同心,形成體積排量泵和所述轉(zhuǎn)子葉片的液體環(huán)旋轉(zhuǎn)周期變化。當工作流體是水,所述水環(huán)泵。       水環(huán)真空泵在聚氯乙烯行業(yè)的應用  近幾年來我國啟動了許多大型的基本建設和技術改造項目,這些項目的實童都需要大量的聚氯乙烯材料,特別是房地產(chǎn)的興旺,更加推動了聚氯乙烯行業(yè)的發(fā)展,據(jù)氯堿行業(yè)的統(tǒng)計,我國去年生產(chǎn)了410萬噸聚氯乙烯,進口了200可噸。據(jù)該行業(yè)的預測,2005年的全國需求量將達800萬噸,而到了2010年將達到1500萬噸,正是因為需求量高速增加,使得我國的氯堿行業(yè)的企業(yè)加改造擴產(chǎn),并且近一、二年新上了許多企業(yè)。氯堿企業(yè)的發(fā)展,必須配套水陜空泵和水環(huán)壓縮機j用以抽除和壓縮乙炔和氫氣的水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機過去也不過30m3/min,而現(xiàn)在年產(chǎn)10萬噸燒堿和10萬噸聚氯乙烯的企業(yè),需要的水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機達70m3/min以上?! ∷h(huán)真空泵和其它類型的機械真空泵相比有以下優(yōu)點  1、結(jié)構簡單,制造精度要求不高,容易加工。  2、結(jié)構緊湊,泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高,一般可與電動機直聯(lián),無須減速裝置。故用小的結(jié)構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。  3、壓縮氣體基本是等溫的(通常多變壓縮指數(shù)n=1.1~1.15...
2019 - 11 - 11
隨著雕刻行業(yè)的發(fā)展,市場對雕刻機廠家提出了更高的要求。雕刻市場的生產(chǎn)細分行業(yè)的日益成熟,CNC雕刻滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需要,但也更簡潔的用戶界面。在一個重要的角色CNC雕刻機工作真空系統(tǒng)作用,最近把一些CNC雕刻機,相關應用程序和其他工業(yè)應用中的問題,以及真空系統(tǒng)的主要功能在分析CNC雕刻機?! ∷鯟NC雕刻機的主要功能是適用于切割,在各種平面材料雕刻一個兩維的,三維雕刻。另一個通用的金屬斑塊雕刻機的主要功能和優(yōu)點:強大,一臺機器,無論是產(chǎn)生青銅,不銹鋼板,鈦金,鋁等金屬表面牌刻字,圖形藝術和手工藝刻圖案等,可以很容易地得到。因為機器刻電鍍工件的強函數(shù)可以從微小被加工到大格式標志徽章,銘牌。  CNC雕刻機的真空系統(tǒng)應用  木工  立體波浪板加工,櫥柜門,工藝木門,免漆門,屏風,雕銑工藝窗口異型加工家具產(chǎn)品。  模具工業(yè)  雕刻各種浮雕,影雕,刻,平面雕刻,切割,清洗和其它效果底部。  雕刻業(yè)  廣告招牌,PVC板,特氟隆片,雙色板,標牌制作,壓克力切割,塑料成型,字符切割,標牌制作,切割PVC,水晶板,丙烯酸類,LED /氖槽,孔形字面切割,光盒成型?! ∈駱I(yè)  天然大理石,花崗石,人造石,墓碑,里程碑,瓷磚,玻璃和電線三維浮雕雕刻,切割,倒邊,鉆立體雕刻的材料?! ∈止I(yè)  各種精細圖案可以刻和在木,竹,人造大理石,有機板,雙色板,水晶等材料的文本?! ≌婵障到y(tǒng)是由真空泵套,P...
2019 - 11 - 12
壓力鑄造分為高壓鑄造和低壓鑄造。高壓鑄造和低壓鑄造有什么區(qū)別?隨著壓鑄行業(yè)的發(fā)展,越來越多的壓鑄制造商正在使用真空系統(tǒng)。如今,許多制造商對壓鑄零件有越來越高的要求。另外,在國內(nèi)壓鑄行業(yè)中,使用真空制造商不多,真空系統(tǒng)的制造商也不平衡。結(jié)果,壓鑄制造商感到他們在選擇真空設備時別無選擇。本文旨在分析真空系統(tǒng)在高壓鑄造中的實際應用效果,希望對壓鑄制造商有所幫助?! 「邏鸿T造和低壓鑄造有什么區(qū)別?  高壓鑄造是將熔融的合金液體倒入壓力室中,高速填充模具的型腔,并在壓力下使合金液體凝固而形成的鑄造方法。高壓壓鑄的主要特征是與其他鑄造方法不同的是高壓和高速。 1熔融金屬在壓力下充滿型腔,并在更高壓力下結(jié)晶并凝固。共同壓力是15-100MPa。 2金屬液體通常以10-50 m/s的速度高速填充模腔,有些甚至會超過80 m/s(模腔通過入口澆口引入模腔的線速度),因此熔融金屬填充時間非常短,可以在約0.01-0.2秒內(nèi)填充型腔(取決于鑄件的大小)?! 〉蛪鸿T造的過程是:在密封的坩堝(或密封的罐)中,引入干燥的壓縮空氣,熔融金屬在氣壓的作用下沿立管上升進入澆口,并順利通過澆口。進入腔體和保持在坩堝內(nèi)的液面的氣體壓力。直到鑄件完全凝固。然后,釋放液體表面上的氣壓,并且液體提升管中的未固化金屬液體流回坩堝。重新打開并取出鑄件?! 鸿T的真空系統(tǒng)原理  壓鑄真空系統(tǒng)主要由三部分組成:真空閥,真空單元和控制...
2019 - 11 - 14
水環(huán)真空泵在使用時會產(chǎn)生較大的震動,這是一種相對常見的情況。這取決于其自身電動機的特性。通常,它不影響設備的正常使用,但是在使用環(huán)境時有一些特殊的要求,對設備的要求比較高,這種情況可能要求水環(huán)真空泵設備降低震動程度,以下將與小編來看看一起如何解決它?! ?、對設備傳動系統(tǒng)的改造也可以達到減震的目的。通常的具體操作是將設備和驅(qū)動軸之間的原始剛性連接調(diào)整為彈性連接,這也可以大大減少電動機和驅(qū)動軸到設備的振動傳遞。通常建議使用彈性套筒銷聯(lián)軸器,以使電動機和驅(qū)動軸振動,但使用撓性聯(lián)軸器后,傳遞到水環(huán)真空泵的振動將大大降低?! ?、增強管道剛度后也可以實現(xiàn)減震。通常,直接在設備上進行加固操作不是很容易。因此,在加固時,在出口鋼管的焊接處使用加固。具體的操作方法是將真空泵出口與出口閥的連接管中使用的法蘭沿入口和出口的方向焊接。這樣可以大大提高鋼管的剛度,并最大程度地減少變形的記錄。實際操作后,可以證明加固后,減震效果非常好?! ∫陨鲜撬h(huán)真空泵減震的方法。除上述方法外,如果需要進行減震處理,還可以咨詢專業(yè)人員,選擇適合設備的方法,不要盲目調(diào)整。
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2025 - 05 - 21
電子封裝過程中使用水環(huán)真空泵機組,主要基于其能夠滿足工藝對真空環(huán)境的嚴格要求、具備穩(wěn)定可靠的性能、適應復雜工況的能力以及符合環(huán)保與安全標準等多方面優(yōu)勢。以下為具體分析:一、滿足電子封裝工藝對真空環(huán)境的要求高真空度需求:電子封裝過程中,許多工藝步驟需要在高真空環(huán)境下進行,以確保封裝材料的純凈度和封裝質(zhì)量。水環(huán)真空泵機組能夠提供穩(wěn)定的真空環(huán)境,滿足電子封裝工藝對真空度的嚴格要求。低氣體殘留要求:在電子封裝中,任何微小的氣體殘留都可能對封裝性能產(chǎn)生嚴重影響。水環(huán)真空泵機組具有高效的抽氣能力,能夠迅速將封裝腔室內(nèi)的氣體抽出,降低氣體殘留量,提高封裝質(zhì)量。二、水環(huán)真空泵機組的性能優(yōu)勢結(jié)構緊湊,占地面積小:水環(huán)真空泵機組通常設計緊湊,占地面積小,便于在電子封裝生產(chǎn)線上集成和安裝。運行穩(wěn)定,維護方便:水環(huán)真空泵機組采用成熟的技術和可靠的設計,運行穩(wěn)定,故障率低。同時,其維護也相對方便,降低了生產(chǎn)線的停機時間和維護成本。適應性強:水環(huán)真空泵機組能夠適應不同的工況和封裝材料,滿足電子封裝工藝的多樣化需求。三、水環(huán)真空泵機組在電子封裝中的具體應用封裝腔室抽真空:在電子封裝過程中,水環(huán)真空泵機組用于將封裝腔室內(nèi)的氣體抽出,形成高真空環(huán)境,為后續(xù)的封裝工藝提供條件。氣體回收與處理:水環(huán)真空泵機組在抽氣過程中,能夠?qū)⒊槌龅臍怏w進行回收和處理,避免對環(huán)境造成污染。與其他設備協(xié)同工作:水環(huán)真空泵機組可以與其他電...
2018 - 05 - 23
雙級旋片真空泵工作原理:如圖所示,雙級旋片真空泵主要是由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧、端蓋等部分組成。轉(zhuǎn)子偏心的安裝于泵體內(nèi)表面相切(兩者間的有很小的間隙),轉(zhuǎn)子里開了個槽,槽內(nèi)裝有旋片。當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,旋片靠離心力和彈簧的張力使其頂端與定子內(nèi)壁相接觸,沿定子內(nèi)壁滑動。雙級旋片真空泵的詳細介紹:阿特拉斯GVD系列雙級油潤滑旋片真空泵以真空度高,抽速快和水蒸氣處理能力強而著稱。旋片式真空泵結(jié)構緊湊,無振動,運行平穩(wěn),應用于各種廣泛的真空領域。雙級旋片真空泵的應用行業(yè):l  冰箱和空調(diào)系統(tǒng)抽真空、干燥和回填l  真空干燥和真空蒸餾l  作為高真空應用的前級泵l  真空冶金l  薄膜技術l  真空冷凍干燥l  變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理l  低溫容器抽真空 雙級旋片真空泵技術參數(shù):雙級旋片真空泵維護保養(yǎng):1.       根據(jù)需要檢查油位,至少每月一次,2.       根據(jù)具體應用更換油,3-6個月,3.       每次更換油,檢測并清潔入口過濾器,4.     ...
2018 - 07 - 25
暑假期間,開車出去游玩都會很堵,像周六日出去海邊玩,車子堵起來會走走停停。那天出去玩,我發(fā)現(xiàn)一輛車很特別,一輛輕型商用車,這輛車不像一般輕卡車那樣不規(guī)則的怠速抖動,非常安靜。只聽到駕駛室里傳來悅耳的音樂,隔著顯眼的福耀玻璃,看到了輕卡車司機淡定的笑容。車子開始緩緩移動,這時我看到了車尾顯眼的 ——“比克純電動車”??破湛鹿I(yè)真空科普柯真空事業(yè)部北區(qū)出售團隊,在2018月剛與比克新能源轎車有限公司簽訂了兩臺阿特拉斯·高效變頻驅(qū)動噴油螺桿真空泵的出售合同?!   ∽鳛槲覈罹甙l(fā)展?jié)摿Φ淖灾餍履茉崔I車出產(chǎn)企業(yè)之一,公司是以電動轎車動力體系集成技能為核心的新能源轎車研制、制作及出售的整車出產(chǎn)企業(yè)。公司致力于電動轎車的研制及技能創(chuàng)新,使用全球搶先的輕量化車身技能及其制作工藝、高效制動能量收回體系、安全節(jié)能電動空調(diào)體系、整車功能驗證、動力電池熱管理體系等產(chǎn)品及技能,用心打造符合我國及國際市場的電動轎車產(chǎn)品?! HS VSD+螺桿真空泵可靠性與高效能完勝  鏡頭回到2016年的深秋,鄭州阿特拉斯·科普柯的授權代理商在慣例拜訪中發(fā)現(xiàn)鄭州比克工廠在注液工藝中運用的某國產(chǎn)品牌雙級旋片泵損壞率很高,該工藝需求的真空度為50-100mBarA。代理商在與阿特拉斯·科普柯北區(qū)出售經(jīng)理咨詢、探討之后,引薦客戶運用阿特拉斯·科普柯GHS VSD+高效變頻驅(qū)動噴油螺桿真空...
2018 - 10 - 09
真空可分為4級:  粗真空 (RV):  1000 - 1 mbar  中真空 (MV):  1 - 10-3 mbar  高真空 (HV):  -3 - 10-7 mbar  超高真空 (UHV):  -7 mbar真空的度量單位:國際制單位:  mbar + Pa   1 mbar = 100 Pa = 1 hPa其它單位:  N/m²  1 N/m² = 1 Pa = 0,01 mbar  Torr  1 Torr = 1,33 mbar  mmHG  1 mmHG = 1 Torr = 1,33 mbar  Atmosphere  1 atm = 1013 mbar  Micron  1 μ = 0,001 Torr = 0,00133 mbar  PSI  1 psi = 0,069 bar         % Vacuum  1 % Vacuum = 10 mbar
2018 - 12 - 05
德國speck進口真空泵使用恒才100#真空泵油,具有適宜的化學穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性,耐水解,與密封材料的相容性很好。 進口真空泵油的性能要求:1.高溫下飽和蒸汽壓要低,易揮發(fā)成份要少。飽和蒸汽壓是真空泵油較關鍵的指標之一。在恒溫的密閉容器中,當汽液兩相到達動態(tài)均衡時的壓力稱謂飽和蒸汽壓。油品的飽和蒸汽壓要盡量低,在泵的最高工作溫度下,仍要具有足夠低的飽和蒸汽壓,并要低于真空泵規(guī)則的極限壓強。在60℃溫度條件下至少要到達6.5×10-5  kPa(因溫升每上升20℃,飽和蒸汽壓大約要下跌一個數(shù)量級)。 2.最低水含量和吸水性。極限全壓力:由皮拉尼計或熱偶真空計測出真空泵一切物質(zhì)(氣體)產(chǎn)生壓強的總和。國外目前注重全壓強的測試指標。極限分壓力:用水銀緊縮式真空計(麥氏計)測得的泵的極限空氣分壓力,雙級旋片泵分壓力應為≤6×10-5 kPa。極限全壓力與極限分壓力差值請求不大于一個數(shù)量級。二者之間的差值越大,真空泵油中含有的揮發(fā)成分就越多,油品的性質(zhì)就越差。 3.要有一定粘度,且隨溫度變化?。ㄕ扯葴厣€平滑)。真空泵油需求具有適合的粘度,在低溫下能使真空泵疾速啟動,在高溫下真空泵油能具有良好的密封性,在泵內(nèi)真空泵油具有較低的溫升。不含有輕質(zhì)的易揮發(fā)組分,降低運用過程中真空泵的返油率。 4.潤滑性能好,機械應力...
2019 - 03 - 29
德國SPECK品牌高溫油泵常常應用到各個行業(yè)中,如塑料,造紙,CNC等等,那么高溫油泵在使用前后需要準備哪些工作呢?下面,深圳恒才機電張工總結(jié)了四大點高溫油泵在使用前后需要做的工作,我們一起來學習了解一下。一、在使用高溫油泵前要對熱載體爐進行清潔工作1、做好對熱載體爐房的清潔和衛(wèi)生工作,高溫油泵應做到爐房內(nèi)不得堆積雜物。2、加熱爐房應該保持良好的照明條件。3、要對除塵器以及出灰箱進行清灰處理,一般的高溫油泵每班應清灰二至三次。4、油、氣爐應該經(jīng)常進行擦除燃燒表面的油污及其積灰,高溫油泵特別是立式的氣爐,頂部會因溫度較高,嚴禁放置一些易燃物品。5、要保持熱載體爐及其設備的外觀清潔度,高溫油泵要清除外部的積灰,這樣不僅可以給高溫油泵創(chuàng)造干凈衛(wèi)生的環(huán)境,而且還更易于觀察設備運轉(zhuǎn)狀態(tài),以及可以時發(fā)現(xiàn)設備的隱患。二、在使用前要對高溫油泵進行檢查工作1、檢查高溫油泵使用情況及其高位槽導熱油的溫度,要嚴禁超過70℃,這樣是為了防止結(jié)焦和泄漏。2、對高溫油泵本體及燃煤爐爐膛、爐排以及其附屬設備進行巡回檢查,要及時發(fā)現(xiàn)產(chǎn)生的問題,并要采取相對應的措施。3、燃煤加熱爐的爐膛不應該出現(xiàn)冒火和吸風現(xiàn)象。爐子高溫導熱齒輪油泵鋼結(jié)構狀態(tài)以及砌體和爐門應該完好,時刻保持爐膛嚴密性。3、檢查各項設備運轉(zhuǎn)情況,傳動情況應無雜聲響。燃煤爐排調(diào)速箱上煤機卷揚機械減速前潤滑油應充足渣機和引風機應充滿潤滑油,應于引風機冷卻...
2019 - 06 - 21
旋片式真空泵組裝的時候需要注意些什么呢,下面是深圳恒才張工為大家捋的8個要求,一起來了解一下吧!1、旋片式真空泵的電機轉(zhuǎn)子平衡現(xiàn)象是否符合規(guī)定,2、旋片式真空泵葉片與電機轉(zhuǎn)子之間的協(xié)作空地,3、旋片式真空泵的泵軸即電機轉(zhuǎn)子軸機器設備前,要判斷它是否變型、彎折了,4、真空泵泵浦電機轉(zhuǎn)子與軸承位的同軸度是否到達須要,5、真空泵軸承與軸承端蓋之間的空地調(diào)整,6、幾回額封密緩沖賠嘗布置的縮緊量是否到達須要,7、真空泵封密部件空地的調(diào)整,8、連軸器的同軸度是否符合須要,真空泵油在應用中的改變 真空泵油在應用中遭受了溫度、空氣、危害介質(zhì)、機械設備剪切、金屬材料催化、等的效果,其構成中的基礎油會發(fā)作氧化、裂化、聚合等反響,功能逐漸變差。      真空泵的組裝也是非常重要的工程,可以在組裝前先看明介紹或電話咨詢真空泵廠家專業(yè)人員進行指導安裝。
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電子晶圓真空吸附水環(huán)式真空泵

日期: 2025-06-26
來源:
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水環(huán)式真空泵在電子晶圓真空吸附中應用廣泛,其特點與優(yōu)勢如下:

工作原理

水環(huán)式真空泵葉輪偏心安裝在泵體內(nèi),啟動前向泵內(nèi)注入一定高度的工作介質(zhì)(常為常溫清水)。當葉輪旋轉(zhuǎn)時,水在離心力作用下在泵體壁內(nèi)形成旋轉(zhuǎn)水環(huán),葉片及兩側(cè)側(cè)板形成密閉腔。在前半轉(zhuǎn)(經(jīng)過吸氣孔)旋轉(zhuǎn)過程中,密封容腔容積逐漸擴大,氣體由吸氣孔吸入;在后半轉(zhuǎn)(經(jīng)過排氣孔)旋轉(zhuǎn)過程中,密封容腔容積逐漸縮小,氣體從排氣孔排出,同時排出一部分水,排出的水氣經(jīng)氣液分離器分離后,水可循環(huán)使用。電子晶圓真空吸附水環(huán)式真空泵

優(yōu)勢特點

  1. 結(jié)構與維護:結(jié)構簡單,制造精度要求不高,容易加工,維護成本低,周期長,適合長期連續(xù)運行。

  2. 工藝適配:能提供較大抽氣量,在低真空度(2000~4000Pa)下表現(xiàn)良好,滿足晶圓吸附大流量、低真空度需求。

  3. 氣體處理:等溫壓縮過程接近等溫,可避免氣體溫度過高,適合處理含水蒸氣等可凝性氣體,防止氣體在泵內(nèi)凝結(jié)。

  4. 抗污染:對粉塵和顆粒物不敏感,水環(huán)作為密封和冷卻介質(zhì),減少磨損,延長設備壽命。

  5. 安全性:使用水作為工作介質(zhì),無油污染風險,等溫壓縮特性使其在處理易燃易爆氣體時安全性更高。

  6. 經(jīng)濟性:初始投資和運行成本較低,使用壽命長,適合大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境。

  7. 適應性:可通過調(diào)節(jié)供水量、轉(zhuǎn)速等參數(shù)適應不同工藝需求,也可與其他真空設備組合使用。

應用場景

在電子半導體領域,水環(huán)式真空泵可用于燈泡排氣,電容、集成晶體管電路、LCD顯示器的生產(chǎn),以及太陽能電池板的單晶硅、多晶硅生長爐,切割,真空層壓等生產(chǎn)環(huán)節(jié)。在電子晶圓真空吸附中,它能快速建立真空環(huán)境,穩(wěn)定吸附晶圓,滿足半導體制造對潔凈度和穩(wěn)定性的要求。


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